中科院微电子所-晶圆级全自动三维磁场探针台

超睿仁达与中科院微电子所等多家单位联合研发、推出性能稳定的晶圆级全自动三维磁场探针台，该款设备磁场强度高、位移精准，自动化程度高，直流、射频探针可选，配合吉时利2602和2182等测试仪表，配套自动化测试软件，满足现代半导体、MEMS、纳米技术以及材料科学等领域的高精度测试需求而设计。

产品特点：

1. 磁场控制：提供精确的三维磁场控制，实现X、Y、Z三个方向上的磁场调节，磁场强度范围广，可满足不同材料和器件的测试需求。

2. 空间位移：采用高精压电位移台，实现样品台在X、Y、Z三个方向上的精确移动，位移分辨率高达纳米级，确保测试过程中样品位置的精确控制。

3. 自动扎针功能：配备高精度自动扎针系统，实现探针与样品的自动对准和接触，扎针过程精确、稳定，有效避免人为操作误差，提高测试效率和准确性。

4. 与吉时利2602、2182等仪表的完美配合，适用于低电压和高阻抗器件的测试。

5. 智能化操作：配备先进的控制系统和用户友好的操作界面，支持远程控制和自动化测试；提供丰富的数据分析和报告生成功能，帮助用户快速获取测试结果并进行深入分析。

超睿仁达可为您提供优质的

1.磁性：电磁铁、电磁线圈、亥姆霍兹线圈、螺线管等；

2.低温：4K、10K闭循环低温恒温器、77k液氮恒温器等；

3.真空：各类真空腔体、真空泵、真空附件等；

4.物性测量系统：电阻率测试系统、霍尔效应测试系统、高温（磁场）退火炉、（低温、磁场）探针台、磁光克尔、振动样品磁强计（VSM）等；

5.低温真空附件：控温仪、温度传感器、加热器、低温导线、低温胶、真空配件等；

6.测试附件：样品杆、样品座、样品卡、接线盒、测试盒

等科研设备，并为您提供优质的售前和售后服务！